純水システム導入事例｜半導体超純水・製薬

CEDI / MDI modules on a 5 CMH ultrapure water (UPW) skid

Semiconductor · UPW

世界3大半導体製造装置メーカー

装置は出荷前に超純水で洗浄され、UPW 規格に完全準拠する必要があります。イオン濃度と微粒子数が厳しく管理される、システム安定性への要求が最も高い用途のひとつです。

比抵抗: ≥ 18.2 MΩ·cm
Particle: < 0.05 μm (50 nm)
重金属: < 10 ppt
用途分野: ウェーハ洗浄

2Pass-RO + CEDI + RDICEDI と半導体グレード混床ポリッシャー (RDI) の組み合わせにより、比抵抗の限界値と超微量不純物の要求を同時に達成しました。
高純度 PVDF / PFA 配管全系統に半導体グレードの高純度配管を採用し、シームレス熱融着溶接で二次汚染を防止しています。
厳格な品質検証に合格超微量重金属および微粒子の各種検査に合格し、無事に引き渡しを完了しました。

Ionpure CEDI stacks in a semiconductor ultrapure water system

Semiconductor · Trace Boron

ベルギー企業の台湾支社

先端ウェーハ洗浄および高度半導体プロセス用の水。比抵抗に加え、ホウ素と重金属を ppt レベルまで下げる必要があり、通常の DI システムでは到達できない規格でした。

比抵抗: ≥ 18.2 MΩ·cm
Boron: < 20 ppt
重金属: < 5 ppt
給水: 24 h 連続

2Pass-RO + VNX + RDI半導体グレードの樹脂と配管設計を組み合わせ、金属イオン 5 ppt 未満の超純水を実現しました。
微量ホウ素の制御ホウ素は最も除去が難しい元素のひとつですが、プロセス構成と樹脂選定により 20 ppt 未満に抑えました。
24時間無停止の給水連続造水とバックアップ機能を備え、生産ラインの24時間稼働に対応します。

Pharmaceutical purified water plant room with storage tank, TOC-UV skid and CEDI module

Pharmaceutical · EU PIC/S

製薬工場 — EU PIC/S 準拠

薬剤調製・注射剤製造・無菌洗浄水に使用。システム全段が消毒可能であり、EU PIC/S 認証の要件を満たす必要がありました。

造水量: 1 m³/h (1 CMH)
比抵抗: > 18 MΩ·cm
TOC: < 20 ppb
生菌数: < 100 pcs/mL

全段 85 °C 熱水消毒活性炭・HSRO・85 °C 対応 CEDI モジュールのすべてが熱水殺菌に対応。実測生菌数は 3〜6 か月にわたり 0 pcs/mL を維持しました。
SUS316L サニタリー配管全線 SUS316L・BPE 規格に準拠し、自動軌道溶接によりラインにデッドレグを残しません。
DQ / IQ / OQ 一式PIC/S 要件に準拠した完全な建設・バリデーション文書を提供しました。

BPE sanitary stainless piping for pharmaceutical ultrapure water

Pharmaceutical · Sanitary UPW

世界的な原薬メーカー — サニタリーグレード超純水

ISO・HACCP の各認証を保有する世界的な原薬 (API) メーカー。新工場の増設にあたり、PIC/S に準拠したサニタリーグレードの超純水システムが必要でした。全段熱消毒が可能で、水質と生菌数の両基準を満たすことが条件です。

適用規格: PIC/S
原水: 上水道水
配管規格: BPE
消毒方式: 全段熱消毒

上水道からの一貫システム也順は上水道の受入からユースポイントまでの全系統を、PIC/S 要件に準拠して構築しました。
BPE 準拠の供給配管供給配管は BPE に準拠して配置し、デッドレグを排除することでループ全体の洗浄と消毒を可能にしています。
自動溶接・第三者検査合格ステンレス配管は自動軌道溶接で接合し、溶接部は第三者機関の検査に合格しています。

軟水装置2段式 R.O.CEDI自動温度制御

RO and CEDI ultrapure water skid supplying a contact lens production line

Medical Devices

アジア5大コンタクトレンズメーカー

コンタクトレンズ生産ライン向けの水。純水と超純水を並行して供給し、製薬グレードの認証に適合する必要がありました。生菌数が最重要の管理項目です。

純水: 3 m³/h
超純水: 3 m³/h
比抵抗: ≥ 18.0 MΩ·cm
回収率: 95–97%

RO + CEDI に RDI と終端 UF を組み合わせRO と CEDI で純水を製造し、RDI ポリッシャーと終端限外ろ過により超純水グレードまで引き上げます。
生菌数を長期にわたり維持基準値 100 pcs/mL に対し、実測値は 0〜5 CFU/mL を維持し、2〜3 か月にわたり安定しました。
システム回収率 95〜97%システム全体の回収率は 95〜97% に達し、排水量と用水コストの双方を削減しています。

ROCEDIRDIFinal UF

Reverse osmosis skid supplying an LED manufacturing plant

LED · Optoelectronics

世界5大 LED メーカー

精密ウォータージェット切断と超純水の前処理システムへ給水。工場は上水道網の末端に位置し、原水水質の変動が大きく導電率も高いことが本件最大の課題でした。

造水量: 18 m³/h (18 CMH)
導電率: < 10 μS/cm
水源: 配水網末端
用途分野: ウォータージェット切断

二重の前処理活性炭と軟化樹脂により懸濁物質・有機物・硬度イオンを除去し、RO 膜を保護します。
耐汚染性 RO 膜専用の耐汚染膜エレメントにより、閉塞リスクと洗浄頻度を大幅に低減しました。
安定した造水を保証地域的な上水道水質の激しい変動を克服し、生産ラインへ24時間安定した高品質の水を供給しています。

Reverse osmosis skid at the Taiwan Water Corporation advanced treatment training park

Public Utility · Advanced Treatment

台湾自来水公司 — 職員研修パーク

台湾自来水公司（台湾水道公社）は台南市新営に職員研修パークを建設しました。従来型浄水処理設備、高度浄水処理設備に加え、配管および漏水探知の実習場を備えています。台湾初の国際水準の水処理パークであり、自社技術者の育成に加え、国家の新南向政策のもと東南アジアおよび友好国の水道技術者の研修も担っています。

造水量: 276 CMD
回収率: 70%
入水濁度: ≦ 1.0 NTU
入水 SDI: ≦ 3

高度浄水処理9系統を一括納入負圧式限外ろ過、加圧式限外ろ過、逆浸透、生物ろ過池、加圧浮上、オゾン接触槽、晶析軟化、生物活性炭、排水中和——計9系統を一括して構築しました。
完結した連続処理フロー実際に稼働するプラントとして一連の処理が完結しているため、そのまま実地教育と運転訓練に使用できます。
人材育成と技術移転設備建設にとどまらず、運転員研修と水処理技術のノウハウ共有も併せて提供しました。

スパイラル型PA TFC 複合膜8040 × 16本FRP 製ハウジング

Large-scale softening vessels producing 240 m³/h of soft water

Manufacturing · Textile Dyeing

繊維染色加工工場 — 大水量軟水システム

染色加工プロセス用水として、硬度（CaCO₃）5 ppm 未満の軟水を毎時240トン供給。原水は地下水であり、ろ過・軟化を経てはじめてプロセスへ供給できます。この水量規模では、消費エネルギーの管理そのものが設計上の制約となります。

造水量: 240 m³/h
硬度 (CaCO₃): < 5 ppm
原水種別: 地下水
運転方式: 全自動

無人運転システムは全自動設計で、再生用の塩の補充すら人手を要しません。お客様の人件費と管理コストを大幅に削減しています。
大水量下でのエネルギー管理大量造水に最適化した運転戦略により、水質を維持しながら造水量あたりのエネルギー消費を低減しています。
地下水の前処理複層式ろ過と軟水装置により地下水を処理し、硬度を安定して 5 ppm 未満に保っています。

MMF 複層式ろ過軟水装置全自動再生

Two-pass RO and CEDI pure water system for automotive electronics

Automotive · EV Supply Chain

車載エレクトロニクス / EV サプライチェーン

重要部品の高温洗浄と、生産ラインへの連続配水に使用。比抵抗に加え、末端水温を 50 °C 以上に保ちながら給水を途切れさせないことが条件でした。

造水量: 3 m³/h (3 CMH)
比抵抗: ≥ 18 MΩ·cm
末端水温: > 50 °C
給水: 24 h 連続

2Pass-RO + CEDI、酸アルカリ不要電気脱イオンにより薬品再生が不要となり、運転の安全性が高まり保守コストも下がりました。
SCR インライン加熱制御SCR インラインヒーターと精密温度制御により、末端水温を安定して 50 °C 以上に保持します。
24時間・高信頼性運転全自動制御にバックアップと予兆警報を備え、昼夜を問わず連続造水を実現します。

導入事例