
全球前三大半導體設備商
設備出廠前需以超純水完成清洗,並須完整符合 UPW 規範。本案嚴格管控離子濃度與顆粒數,是對系統穩定度要求最高的一類應用。
- 水質指標
- ≥ 18.2 MΩ·cm
- Particle
- < 0.05 μm (50 nm)
- 重金屬
- < 10 ppt
- 應用環節
- 晶圓清洗
- 2Pass-RO + CEDI + RDI 三重系統採用 CEDI 搭配半導體級精混床 (RDI),達標極限電阻率與超微量雜質要求。
- 高潔淨 PVDF / PFA 管材全系統採半導體等級高純度管路,配備無縫熱融銲接,避免二次污染。
- 嚴格品質驗證通過順利通過各項超微量重金屬與 Particle 檢測,順利交付驗收。








